上海申弘閥門有限公司
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超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例
氮封裝置(氮封閥)是由ZZDG型指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥(這里簡(jiǎn)稱供氮閥)和ZZDX型自力式微壓調(diào)節(jié)閥(簡(jiǎn)稱泄氮閥)及呼吸閥三大部份組成。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高超過設(shè)定值時(shí),供氮閥關(guān)閉,泄氮閥打開(罐頂未設(shè)呼吸閥,或呼吸閥故障打不開),將罐內(nèi)多余壓力泄放。在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),泄氮閥處于關(guān)閉狀態(tài),供氮閥打開,向罐內(nèi)注氮?dú)狻9┑y閥前壓力最好在1.0Mpa以下,現(xiàn)場(chǎng)壓力較高時(shí),可在供氮閥前安裝一只ZZYP型自力式壓力調(diào)節(jié)閥將壓力減至1.0 Mpa以下,以提高可靠性和使用效果。
氮封裝置(氮封閥)的供(泄)氮壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行。在設(shè)定壓力范圍內(nèi),如從100mm H20需調(diào)整到50mm H20,可通過調(diào)節(jié)供氮閥頂部的調(diào)節(jié)螺絲,改變彈簧的力,即可達(dá)到需要新設(shè)定的工藝值。泄氮閥的調(diào)整也是同理。呼吸閥設(shè)定值調(diào)整:在上述設(shè)定值調(diào)整好后,為避免呼吸閥啟閉頻繁,呼吸閥的設(shè)定值應(yīng)大于泄壓設(shè)定置。
通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng),工業(yè)超純水設(shè)備由單片機(jī)設(shè)計(jì)(PLC)操縱,一切姿勢(shì)均在預(yù)置程序流程下全自動(dòng)開展,具有自動(dòng)式作用(全自動(dòng)水處理、全自動(dòng)清洗、源水少水/儲(chǔ)水箱滿水全自動(dòng)關(guān)機(jī))。工業(yè)超純水設(shè)備耗能低,合理節(jié)約資源,耗品長(zhǎng)壽命,水處理成本費(fèi)便宜。系統(tǒng)軟件運(yùn)作靠譜,供水管道路封閉式,出水量水體平穩(wěn)。
序號(hào) | 品 名 | 型 號(hào) 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 | 單 價(jià) (元) | 金 額 (元) | 閥體材質(zhì)及 其它 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN15 PN16 進(jìn)口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力1 KPA | 臺(tái) | 1 | 304不銹鋼 | ||
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥CFQ DN25 PN16 正壓3KPA 負(fù)壓:-298PA | 臺(tái) | 1 | 304不銹鋼 |
超純水設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域:
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例超純水設(shè)備工藝流程:
1.1預(yù)處理單元
采用石英砂過濾、活性炭過濾、保安過濾作為兩級(jí)反滲透的預(yù)處理。
1.2膜系統(tǒng)單元
膜系統(tǒng)單元是本系統(tǒng)的核心,負(fù)責(zé)去除水中大部分的有害物質(zhì),保證終端產(chǎn)水達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求。本設(shè)計(jì)中采用輔以pH值調(diào)節(jié)的兩級(jí)反滲透作為初級(jí)脫鹽工藝,EDI模塊作為深度脫鹽工藝。
1.2.1反滲透膜塊
反滲透膜是以壓力差為驅(qū)動(dòng)力的液相膜分離方法,可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動(dòng)下,溶液中的水分子透過膜,而其它分子、離子、細(xì)菌、病毒等被截留,從而實(shí)現(xiàn)脫鹽效果,達(dá)到純化目的。整個(gè)反滲透系統(tǒng)由高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應(yīng)的儀器、儀表、閥門、機(jī)架、管道及管件等組成;此外還有獨(dú)立的化學(xué)清洗裝置。
1.2.2EDI模塊
EDI技術(shù)是將膜法和離子交換法結(jié)合起來的新工藝,基本原理主要包括離子交換、直流電場(chǎng)下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過交換作用吸附于樹脂顆粒上,再在電場(chǎng)作用下經(jīng)由樹脂顆粒構(gòu)成的“離子傳輸通道"遷移到膜表面并透過離子交換膜進(jìn)入濃室。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發(fā)生,猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱,因此可以連續(xù)不斷地制取高質(zhì)量的純水、高純水。EDI系統(tǒng)由增壓泵、膜堆、電源以及相應(yīng)的儀器、儀表、閥門、機(jī)架、管道等組成。
1.3供水單元
純水供水循環(huán)采用254nm紫外線殺菌、拋光混床脫鹽、0.22微米過濾,達(dá)到用戶的超純水水質(zhì)要求。
為保證純水的品質(zhì)以及生物學(xué)指標(biāo),在工業(yè)超純水設(shè)備的終端設(shè)置精度為0.22μm的微濾膜過濾器,用于截留去除脫鹽設(shè)備出水中的微粒以及細(xì)菌尸體。由于0.22μm的微濾膜膜過濾器為整個(gè)脫鹽工藝的后一道處理設(shè)備,因此又稱終端過濾器。過濾器內(nèi)裝折疊式微孔濾膜,過濾精度0.22μm,過濾器出口設(shè)置壓力表。過濾器經(jīng)過一段時(shí)間的運(yùn)行后,濾膜表面截留了大量雜質(zhì),使濾膜堵塞,導(dǎo)致工作壓力增加,當(dāng)進(jìn)出口壓力差增大到某一設(shè)定值時(shí),更換濾膜。
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例工作原理圖:
執(zhí)行機(jī)構(gòu)部分 表2
規(guī)格 型號(hào) | 薄膜式 |
用 途 | 調(diào) 節(jié) |
膜片材質(zhì) | 丁腈橡膠、氟橡膠、耐油橡膠 |
接 口 | m16×1.5 |
作用方式 | 壓開、壓閉 |
使用溫度 | 氣體:-20~+120℃ |
標(biāo)配閥門附件 | 取壓管(含取壓接頭) |
可選閥門附件 | 取壓接管、截止閥、壓力表、法蘭、墊片及緊固件 |
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例主要技術(shù)參數(shù) 表3-1 氮封調(diào)節(jié)閥主要技術(shù)參數(shù)
公稱通徑 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 | 200 |
額定kv | 7 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 | 300 | 480 | 760 |
額定行程l(mm) | 8 | 10 | 12 | 20 | 22 | 25 | 25 | ||||
固有流量特性 | 快開 | ||||||||||
正常工作時(shí) 閥門小壓差 | ≥0.2mpa | ||||||||||
適用介質(zhì) | 非腐蝕性氣體(-20~120℃) | ||||||||||
壓力調(diào)節(jié)范圍(kpa) | 0.14-2.0 1-6 5-10 9-15 12-19 18-25 22-30 28-35 32-40 38-50 48-60 58-72 70-100 | ||||||||||
調(diào)節(jié)精度 | ±5% | ||||||||||
允許泄漏量 | 硬密封:ⅳ級(jí)(×kv);軟密封:ⅵ級(jí)(參見gb/t4213-2008) |
注:壓力調(diào)節(jié)范圍可根據(jù)客戶要求定制.
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例表3-2 小流量氮封調(diào)節(jié)閥主要技術(shù)參數(shù)
公稱通徑 | 20、25 | ||||||||||
2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 12 | 15 | |
額定kv | 0.02 | 0.08 | 0.12 | 0.20 | 0.32 | 0.5 | 0.8 | 1.2 | 1.8 | 2.5 | 4 |
額定行程l(mm) | 5 | ||||||||||
固有流量特性 | 線性、修正線性 | 快開 | |||||||||
正常工作時(shí) 閥門小壓差 | ≥0.2mpa | ||||||||||
調(diào)節(jié)精度 | ±5% | ||||||||||
允許泄漏量 | 硬密封:ⅳ級(jí)(×kv);軟密封:ⅵ級(jí)(參見gb/t4213-2008) |
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例超純水設(shè)備運(yùn)輸方式說明:
鐵路、公路、快遞這三種方式是更常用的運(yùn)輸工業(yè)超純水設(shè)備的方式。
鐵路運(yùn)輸,到達(dá)目的地火車站時(shí),需提供收貨人的證件才能取貨,且從火車站到客戶手中,需自行組織車輛進(jìn)行運(yùn)輸。但鐵路運(yùn)輸不易損壞貨物。
公路運(yùn)輸,公路運(yùn)輸主要適用于近距離的客戶,由公司直接派車送貨上門,能更快更好的為超純水設(shè)備使用客戶進(jìn)行安裝和培訓(xùn),同時(shí)能確保超純水設(shè)備不被損壞。
快遞,快遞運(yùn)輸是更常用的運(yùn)輸方式,也是客戶更常選擇的運(yùn)輸方式。快遞運(yùn)輸能清楚的看到設(shè)備的運(yùn)輸情況,也更讓買家放心。但是快遞運(yùn)輸容易造成貨物的損壞,每年公司和客戶因快遞運(yùn)輸造成的損失都是不可估量的。
航空運(yùn)輸,航空運(yùn)輸雖然能為急用的客戶更快的將產(chǎn)品送到,但是由于運(yùn)輸成本過高且設(shè)備的離子交換樹脂中含有水份,也使得超純水設(shè)備通過航空運(yùn)輸受到了很大的限制。因此航空運(yùn)輸在超純水設(shè)備的運(yùn)輸中很少見。
運(yùn)輸過程中的注意事項(xiàng):
由于工業(yè)超純水設(shè)備的純化設(shè)備中含有離子交換樹脂等純化樹脂,離子交換樹脂含有一定水份,不宜露天存放;因此儲(chǔ)運(yùn)過程中應(yīng)保持濕潤(rùn),以免風(fēng)干脫水,使樹脂破碎。此外在運(yùn)輸過程中應(yīng)保持工業(yè)超純水設(shè)備在5-40℃的溫度環(huán)境中,避免過冷或過熱,影響樹脂的質(zhì)量。
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例
1、水箱未滿水前需要補(bǔ)水;
2、補(bǔ)水時(shí)需要打開呼吸器;
3、補(bǔ)水時(shí)水箱滿后設(shè)備需停水;
4、水箱水位不足后處理系統(tǒng)需停機(jī)保護(hù)直至水位正常;
5、補(bǔ)水完成后關(guān)掉呼吸器;
6、前面的步驟完成后再補(bǔ)氮?dú)?#8230;…這些都需要有一套全自動(dòng)的程序來協(xié)調(diào)控制,保證超純水不會(huì)被大氣污染。
7、反滲透設(shè)備在使用前,需采用蒸氣進(jìn)行高溫消毒,設(shè)備運(yùn)行時(shí)前72小時(shí)生產(chǎn)出來的超純水需排放掉。
8、檢測(cè)超純水需在出水口安裝可流運(yùn)水專用探測(cè)槽再裝電阻率擦頭,才能反映出超純水的水質(zhì)。
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例超純水箱單封裝置
因?yàn)橐话愕某S脙?chǔ)水罐為了維持內(nèi)部與外部的壓力平衡,當(dāng)罐內(nèi)水量減少的時(shí)候,除非使罐子被不斷的壓縮,不然罐內(nèi)就會(huì)有空氣填入其中,維持外部與內(nèi)部的平衡,顯然在超純水的生產(chǎn)過程中,使空氣進(jìn)入是非常不理智的行為。
常見的大氣中富含各種污染物質(zhì),這類污染物質(zhì)雖然對(duì)人體的影響并不是很大,但是在高精度儀器面前,它們會(huì)時(shí)刻影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),讓數(shù)據(jù)出現(xiàn)不同程度的改變,特別是在電子級(jí)實(shí)驗(yàn)面前,微生物或者離子的影響都會(huì)使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)失效,所以采用氮封裝置能很好的保證儲(chǔ)水桶內(nèi)的水質(zhì)穩(wěn)定。氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O,通過氮封裝置精確控制。
當(dāng)水箱上游水泵開啟,向超純水水箱補(bǔ)水時(shí),水箱水位上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時(shí),泄氮裝置打開,向外界釋放氮?dú)猓构迌?nèi)壓力下降,當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),泄氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。
當(dāng)水箱后級(jí)水泵開啟,用戶端開始用水時(shí),液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)壓力降低,供氮裝置開啟,向儲(chǔ)罐注入氮?dú)猓构迌?nèi)壓力上升,當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。
超純水箱氮封閥裝置應(yīng)用案例
1.供氮裝置工作原理:
供氮裝置結(jié)構(gòu)如圖所示,將設(shè)在罐頂?shù)娜狐c(diǎn)的介質(zhì)經(jīng)導(dǎo)壓管引入檢測(cè)機(jī)構(gòu)(7)、介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與彈簧(8)、預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低至低于供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),平衡被破壞,使指揮器閥芯(6)打開,從而使閥前氣體經(jīng)減壓閥(5)、節(jié)流閥(4)、進(jìn)入主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)上、下膜室,打主開閥閥芯(2)、向罐內(nèi)充注氮?dú)猓划?dāng)罐內(nèi)壓力升至供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),由于預(yù)設(shè)彈簧力,關(guān)閉指揮器閥芯(6)又由于主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)中彈簧作用,關(guān)閉主閥,停止供氮。
2.泄氮裝置工作原理:
泄氮裝置結(jié)構(gòu)如右圖所示,該裝置采用內(nèi)反饋結(jié)構(gòu),介質(zhì)直接經(jīng)閥蓋進(jìn)入檢測(cè)機(jī)構(gòu)(2),介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與預(yù)設(shè)彈簧(3)預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高至高于泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),平衡被破壞,使閥芯(1)上移,打開閥門,向外界泄放氮?dú)猓划?dāng)罐內(nèi)壓力降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),由于預(yù)設(shè)彈簧力作用,關(guān)閉閥門。
氮封裝置主要用于保持容器頂部保護(hù)氣(一般為氮?dú)猓┑膲毫愣ǎ员苊馊萜鲀?nèi)物料與空氣直接接觸,防止物料揮發(fā),被氧化,以及容器的安全。特別適用于大型儲(chǔ)罐的氣封保護(hù)系統(tǒng)。該產(chǎn)品具有節(jié)能環(huán)保、動(dòng)作靈敏、運(yùn)行可靠、操作簡(jiǎn)單和維修方便等特點(diǎn)。